1987³â ¼³¸³µÈ (ÁÖ)¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Æ÷Å丶½ºÅ© º¸È£¿ë ¸·ÀÎ PellicleÀ» »ý»êÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. 1994³â Deep UV PellicleÀ» ¼º°øÀûÀ¸·Î °³¹ßÇØ º¥Ã³±â¾÷´ë»óÀ» ¼ö»óÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
ÀϺ»°ú ´ë¸¸À» ºñ·ÔÇØ ¼¼°è½ÃÀå¿¡¼ Á¡Â÷ Ä¿´Ù¶õ ¸í¼ºÀ» ¾ò°í ÀÖ´Â ¿ì¸®ÀÇ PellicleÀº ISO9001À» ȹµæÇÏ¿´°í, Çѱ¹ Pellicle½ÃÀåÀÇ ¾à 80%¸¦ Á¡À¯ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.(ÁÖ)¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ ±â¼ú¿¬±¸¼Ò´Â 1998³â Thermoeletric Chiller¸¦ °³¹ßÇØ À̸¦ ¼¼°è½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸¿¡ ºÎÀÀÄÚÀú 2000³â 1¿ù À¯·´ÀÇ CE¸¶Å©¸¦ ȹµæÇÏ¿´½À´Ï´Ù.Thermoeletric Chiller´Â ³ôÀº ±â¼ú·Â°ú ¶Ù¾î³ Ç°ÁúÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ¼¼°èÀÇ À¯¼öÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ü¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.