µð¿¥¿¡½º¿¡´Â "»ýÁ¸À» À§ÇØ ÀÏÇÏ´Â »ç¶÷"º¸´Ù "ÀÏÀ» ÅëÇØ ¹«ÇÑÇÑ ¸¸Á·°¨°ú ¼ºÃë°¨"À» ´À³¢°íÀÚ ÇÏ´Â Á÷¿øµéÀÌ ¸¹À¸¸ç, ÀÌ°ÍÀº Á¶Á÷±¸¼º¿øµé·Î ÇÏ¿©±Ý ¸ðµç ÀÏ¿¡ ¼Ö¼±¼ö¹üÇÏ°í ÁÖÀÎÀǽÄÀ» °®°Ô Çϸç, Àγ»¿Í ²ö±â·Î¼ ÃÖ¼±À» ´ÙÇϵµ·Ï ÇÏ´Â ÈûÀÇ ¿øõÀÔ´Ï´Ù. µð¿¥¿¡½º´Â ³²ÀÌ ¸¸µç ±æÀ» °È±â º¸´Ù´Â ½º½º·Î »õ·Î¿î ±æÀ» °³Ã´Çϱ⸦ ÁÁ¾ÆÇϸç, »ç¹°ÀÇ ÀÌÄ¡¿¡ È£±â½ÉÀÌ ¸¹°í, ½ÃÀÛÇÑ ÀÏÀº ¾î¶°ÇÑ ¿ª°æ ¼Ó¿¡¼µµ ³¡³» Çس»°í¾ß ¸¶´Â ±×·± Á¶Á÷ÀÔ´Ï´Ù .
ÀÌ·¯ÇÑ µ¶Ã¢¼ºÀÌ ¼¼°èÃÖÃÊ·Î EUV, HDC, HDS µîÀ» °³¹ßÇÏ°Ô ÇÏ°í, Áö±Ýµµ ±ä ¹ãÀ» Áö»õ¿ì¸ç ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ¸ôµÎÇÏ°Ô ¸¸µå´Â ¿øµ¿·ÂÀÌ ¾Æ´Ñ°¡ »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ±â¾÷°æ¿µÀ» ÇÏ´Â ¸ñÀûÀº ½Ã°¢¿¡ µû¶ó ¿©·¯ °¡Áö°¡ ÀÖÀ» ¼ö ÀÖ°ÚÀ¸³ª, °æ¿µÀÇ ±Ùº»Àº ¿ì¸®Á¦Ç°À» ã´Â °í°´À» ¸¸Á·½ÃÅ°°í, ÅõÀÚÇÑ ÁÖÁÖ¿¡°Ô ÀÌÀÍÀ» µ¹·ÁÁÖ°í Á¶Á÷±¸¼º¿øµéÀÇ »îÀÇ ÁúÀ» ³ô¿©ÁÖ´Â °ÍÀ̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù.
|