| 2001년 12월 26일 |
반도체 제조장비 및 부품 제조업 등을 목적으로 서울 금천구 가산동 448 |
| 2001년 12월 26일 |
대륭테크노타운 3차 508-1에서 대표이사 김형준에 의해 납입자본금 50백만원으로 설립 |
| 2002년 06월 04일 |
자본금을 3,048백만원으로 증자 |
| 2002년 11월 14일 |
특허등록[교반자속 인가에 의한 비정질 실리콘막의 저온 결정화 장치] |
| 2003년 06월 02일 |
특허등록[열안정성이 취약한 비전도성 기판상의 반도체 박막의 열처리 장치 및 방법] |
| 2004년 04월 08일 |
자본금을 3,251백만원으로 증자 |
| 2004년 11월 01일 |
특허등록[반도체 막의 저온 열처리 장치] |
| 2006년 06월 |
서울 금천구 가산동 554-2 마이크로 오피스빌딩 2층으로 본점 이전 |
| 2006년 09월 11일 |
자본금을 3,967백만원으로 증자 |
| 2008년 02월 28일 |
특허등록[씰링 모듈 및 이를 포함하는 반도체 소자의 열처리 장치] |
| 2008년 02월 13일 |
특허등록[상압 금속도핑장치] |
| 2008년 05월 08일 |
특허등록[반도체 소자 로딩 모듈 및 이를 이용한 반도체 소자 열처리시스템] |
| 2008년 09월 01일 |
특허등록[평판표시장치용 유리기판 제조방법 및 이에 의한 유리기판] |
| 2008년 12월 00일 |
당사 장비(FE-RTP V900)적용 세계최초 Non-Laser 결정화 AMOLED 양산(LG전자) |
| 2009년 06월 00일 |
신재생에너지 기술개발사업 박막태양전지 APCVD 국책개발선정, 신재생에너지 국책개발 Matching Fund 21억 |
| 2009년 08월 00일 |
AMOLED용 LTPS 결정화 열처리 양산장비 국내납품(2세대,4세대) |
| 2009년 12월 00일 |
경영진의 변동 : 김영민 사외이사 취임 |
| 2010년 04월 00일 |
8세대 Oxide TFT 열처리 개발장비 납품 |
| 2010년 04월 12일 |
본점소재지 변경 : 서울시 금천구 가산동 554-2 마이크로오피스빌딩 2층 → 경기도 수원시 권선구 고색동 9 |
| 2010년 05월 00일 |
본사 및 공장 확장이전(수원시 고색동 수원산업단지) |
| 2010년 06월 00일 |
7세대 Oxide TFT 열처리 양산장비 납품 |
| 2010년 07월 00일 |
AMOLED용 결정화 열처리 양산장비 해외 납품(대만 AUO) |
| 2010년 10월 00일 |
수원산업3단지 본사 공장부지 계약체결(2,230평) |
| 2010년 10월 15일 |
최대주주 변동 : Newton Capital Partners 1 L.P. → 김형준외 4인 |
| 2011년 01월 00일 |
5.5세대 AMOLED용 LTPS 열처리 양산장비 납품, 6세대 Batch Type 고온열처리 장비 개발 완료, 8세대 Oxide |
| 2011년 01월 00일 |
경영진의 변동 : 김용길 이사 퇴임, 신명수 이사 취임 |
| 2011년 03월 00일 |
경영진의 변동 : 신명윤, 이현근 이사 퇴임, 김병국, 신동훈 이사 취임, 김영관 감사 퇴임, 배병성 감사 취 |
| 2011년 04월 00일 |
Flexible AMOLED용 열처리 장비 납품(2대) |
| 2011년 06월 00일 |
5세대 AMOLED용 LTPS 열처리 양산장비 중국 납품(CENTURY) |
| 2011년 09월 00일 |
8세대 AMOLED용 결정화 장비 납품 |
| 2011년 09월 00일 |
경영진의 변동 : 김영민 사외이사 퇴임, 한훈 사외이사 취임 |
| 2011년 10월 00일 |
벤처기업대상 지식경제부장관 표창 (김형준 대표이사) |
| 2012년 05월 00일 |
한국거래소 코스닥시장 상장 |
| 2012년 10월 00일 |
KB Hidden Star 500 선정 |
| 2012년 11월 00일 |
신축 공장 기공식(수원 산업3단지) |
| 2013년 03월 00일 |
한훈 사외이사 사임 / 최우갑 사외이사 취임 / 김재범 사외이사 취임 |
| 2013년 05월 00일 |
'2013년 월드 클래스(World Class) 300 프로젝트' 선정 |
| 2013년 05월 00일 |
'2013년 코스닥시장 히든챔피언' 선정 |
| 2013년 05월 00일 |
'제6회 대한민국 코스닥대상' 최우수차세대기업상 수상 |
| 2013년 06월 14일 |
본점이전-경기도 수원시 권선구 산업로155번길 139(고색동 655) |
| 2013년 07월 00일 |
신사옥 준공식 |
| 2013년 11월 00일 |
2천만불 수출의 탑 수상(한국무역협회) |
| 2013년 11월 00일 |
벤처산업발전 경기도지사 유공 표창 |
| 2014년 03월 00일 |
김재범 사외이사 사임 / 배병성 감사 취임 |
