Ç÷¯½ºÀÌ¿£Áö(ÁÖ) ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼ Çٽɱâ¾÷ÀÌ µÇ±â À§ÇØ µµÀüÁ¤½ÅÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î âÀÇ·Â, ±â¼ú·Â, Àΰ£ Á߽ɵîÀÇ °¡Ä¡¸¦ Áß½ÃÇϸç Àü ÀÓÁ÷¿øÀÌ ±â¾÷¹ßÀüÀ» À§ÇØ ÇÕ½ÉÇÏ¿© Àü·ÂÀ» ´ÙÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ CMP °øÁ¤¿ë ½½·¯¸® °ø±ÞÀåÄ¡(Slurry Supply System) ¹× ÈÇоàÇ°Áß¾Ó°ø±ÞÀåÄ¡(Central Chemical Supply System)ºÐ¾ß¿¡ Çٽɱâ¼ú( Know-How)·Î ÃÖÀûÀÇ ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â ¿ì¼öÇÑ ±â¾÷À¸·Î Æò°¡ ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Çؿܱâ¼úÇù·ÂÀ» ÅëÇÑ ½Ã½ºÅÛ °³¹ßÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¿ø°¡Àý°¨À» À§ÇØ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ÀÚÀçÀÇ ÇØ¿Ü °ø±Þ¼± ´Ùº¯È ¹× ±¹»êȸ¦ µµ¸ðÇÏ¿© ¼ø¼öÇÑ ¿ì¸® ±â¼úÀÇ Á¦Ç° °ø±ÞÀ» À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
[
±â¾÷ºñÀü]
[
°æ¿µ¹æħ]
½Å¼ÓÇÏ°í Á¤È®ÇÑ / ¼³°è ¹× Á¦ÀÛ / ÇöÀå(Set-up) / After Service
[
»ç¾÷¿µ¿ª ¹× ÁÖ¿ä»ý»êÇ°]
[
Á¶Á÷µµ]
[
º¹¸®ÈÄ»ý]