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1993. 12 : ȸ»ç¼³¸³
1994. 7 : Trans FET RF Generator±¹»êÈ­
1994. 9 : Analog¹æ½Ä Auto Matcher ±¹»êÈ­
1995. 2 : ECR¿ë, Magnet¿ë, Micro Wave¿ëGenerator ±¹»êÈ­
1997. 2 : Digital¿ë Auto Matcher ±¹»êÈ­
1997. 8 : Digital¿ë SMPS RF Generator ±¹»êÈ­
1998. 6 : ´ºÆÄ¿ö ±â¼ú ¿¬±¸¼Ò ¼³¸³
1999. 10 : (ÁÖ)´ºÆÄ¿ö ÇÁ¶óÁ ¼³¸³(¹ýÀÎÀüȯ)
1999. 10 : º¥Ã³±â¾÷ ÁöÁ¤(±â¼ú¿¬±¸°³¹ß)
1999. 12 : ±â¼ú°æÀï·Â¿ì¼ö±â¾÷ ÁöÁ¤(Áß¼Ò±â¾÷û)
2000. 8 : ISO9001 ÀÎÁõ
2001. 1 : Plasma Cleaner, Dry Scrubber °³¹ß
2001. 5 : À¯¸Á¼±Áø±â¼ú±â¾÷ ÁöÁ¤(Áß¼Ò ±â¾÷û)
2002. 3 : ¹Ì±¹ ¹ýÀÎ ¼³¸³ (CALIFORNIA SAN JOSE, Sillicon Vally)
2002. 5 : RPG(Remote Plasma Generator) °³¹ß
2003. 6 : NT/EM Mark ȹµæ
2003. 11 : 2003 ½Å±â¼ú½Ç¿ëÈ­ »ê¾÷Æ÷Àå ¼ö»ó
2004. 1 : 2003 Çѱ¹ 10´ë ½Å±â¼ú ¼±Á¤
2004. 7 : ¼¼°è ÀÏ·ù »óÇ° »ý»ê±â¾÷ ¼±Á¤
2004. 8 : Â÷¼¼´ë Asher Àåºñ °³¹ß
2005. 7: Dry Etcher ºÎÇ°¼ÒÀç°³¹ß »ç¾÷ÀÚ ¼±Á¤
½Å±â¼ú ½Ç¿ëÈ­ ±¹¹«ÃѸ®»ó ¼ö»ó
2006. 10: Á¦2ȸ ´ëÇѹα¹¹ÝµµÃ¼±â¼ú´ë»ó Çٽɱâ¼ú»ó ¼ö»ó
º¥Ã³±â¾÷ °æ¿µ ¹× »ý»ó¼º Çâ»ó ǥâ(Áß¼Ò±â¾÷ûÀå)
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 2008-01-17  ´ºÆÄ¿öÇÁ¶óÁ   ¼³°è, °³¹ß(Pro/E ¶Ç´Â Solidworks)  Ã¤¿ë½Ã¸¶°¨ °æ±â 3³â
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